SEM物镜光阑的作用及原理 一、SEM物镜光阑的定义和作用 SEM物镜光阑是扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）中的一个重要组件，它位于电子束出射系统的最前端，用于控制电子束的直径和形状。光阑的作用是限制电子束的尺寸，从而控制样品的分辨率和深度。 二、SEM物镜光阑的原理 1. 光阑的结构 SEM物镜光阑通常由一系列金属环组成，这些环可以通过机械或电子控制来调节其直径。光阑的直径越小，电子束的直径就越小，分辨率也就越高。 2. 光阑的调节 光阑的直径可以通